■透明導電膜（ITO膜）ガラス基板
ガラスの透明性を活かしたままガラス表面に電気を通す透明導電膜。
酸化インジウムと酸化スズの混合物であるITO（Tndium Tin Oxide)を成膜することにより、可視域を透過し緻密で均一
な導電性を有する膜を製作することができます。
スパッタリング法、真空蒸着法など成膜方法を選択し、用途の応じて膜特性をコントロール致します。
| 品種 | シート抵抗値（Ω/sq） | 膜 厚（Å） | 透過率（at550nm）（％以上） |
|---|---|---|---|
| 7Ω | ４〜７ | 2200〜2800 | 75 |
| 10Ω | 6〜10 | 1600〜2200 | 78 |
| 25Ω | 14〜25 | 700〜1100 | 80 |
| 100Ω | 50〜100 | 180〜380 | 84 |